①脫脂
　　工件在熱處理之前，由于鋼料加工或壓力成型，往往在表面粘有油污。粘附在金屬表面的油脂、潤(rùn)滑劑等蒸氣壓較高，在真空加熱時(shí)，自行發(fā)揮或分解成水，氫氣和一氧化碳等氣體，并被真空泵抽走，與不同金屬表面產(chǎn)生化學(xué)反應(yīng)，得到無(wú)氧化、無(wú)腐蝕的非常光潔的表面。不過(guò)，生產(chǎn)中工作一般仍要進(jìn)行預(yù)先脫脂處理，以減輕油污對(duì)于真空系統(tǒng)的污染。
　　②除氣
　　金屬在熔煉時(shí)，液態(tài)金屬要吸收H2、O2、N2、CO等氣體，由于冷卻速度確認(rèn)太快，這些氣體留在固體金屬中，生成氣孔及白點(diǎn)等各種冶金缺陷，使材料的電阻、磁導(dǎo)率、硬度、強(qiáng)度、塑性、韌性等性能受到影響，根據(jù)氣體在金屬中溶解度，與周?chē)h(huán)境的分壓平方根成正比的關(guān)系，分壓越小即真空度越高，越可減少氣體在金屬中的溶解度，釋放出來(lái)的氣體被真空泵抽走。
　　③分解氧化物
　　金屬表面的氧化膜、銹蝕、氧化物、氫化物在真空加熱時(shí)被還原、分解或揮發(fā)而消失，使金屬表面光潔。鋼件真空度達(dá)0.133~13.3Pa即可達(dá)到表面凈化效果。金屬表面凈化后，活性增強(qiáng)，有利于C、N、B等原子吸收，使得化學(xué)熱處理速度增快且成分均勻。當(dāng)真空度足夠，氧的分壓低于氧化物分解壓力時(shí)，可以使表面已經(jīng)形成的氧化物發(fā)生分解而被去除，獲得光亮的表面。
　　④表面保護(hù)
　　真空熱處理實(shí)質(zhì)上是在極稀薄的氣氛中進(jìn)行，爐內(nèi)殘存的微量氣體不足以被處理的金屬材料產(chǎn)生氧化脫碳、增碳等作用。使金屬材料表面的化學(xué)成分和原來(lái)的光亮度保持不變。